D-process Market
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卓上CMP装置Melissa300D
試作から少量量産まで対応可能な卓上型CMP装置を提供、
D-processが確立したCMPプロセスをお客様の元で再現可能です。
●研究開発用の試料作成に最適
…多様な治具・アタッチメントに対応し、機能の拡張が容易に行えます。
●駆動系および剛性の改良
…駆動系と剛性の改良を重ね、騒音および振動を大幅に抑えることに成功しました。
●液晶タッチパネルによる快適操作
…液晶タッチパネルを用いた操作で快適な研磨作業が行えます。
多種多様な研磨工程のレシピの一括管理も可能です(オプション)。
●安全に配慮した研磨作業の実現
…非常停止スイッチおよび漏電ブレーカー、インターロックカバー(オプション)により、
安心安全に配慮しながらの研磨作業を提供します。
販売元・製造元 株式会社D-process
【研磨装置仕様】
装置型番／Melissa-300D
本体寸法（カバー無し）／W540mm × D570mm × H335mm
本体寸法（カバー装着時）／W621mm × D594mm × H644mm（カバー閉扉時）
W621mm × D652mm × H1205mm（カバー開放時）
本体重量／71kg
研磨盤寸法／φ300mm
回転速度／0rpm 〜 200rpm
回転表示／液晶タッチパネル デジタル表示
タイマー／液晶タッチパネル デジタルタイマー
（時間・分・秒の切替可能 上限99時間59分59秒まで）
モーター／スピードコントロールモーター 200W
入力電源／AC100V 1A
付属装置用AC 電源／タイマー連動コンセント2ヶ（背面設置）
アタッチメント取付用タップ孔／コロ式3ヶ所、揺動装置および強制駆動装置2ヶ所
排水口／外径φ32mm 排水ホース外径φ42mm（背面）
カバー／インターロックシステム付属塩化ビニルカバー（オプション）
非常停止スイッチ／標準装備
漏電ブレーカー／標準装備（15A）
